半導体パラメータアナライザ操作手順
立ち上げ準備（測定30分前）
- クリーンブースの電源 100V 2P とクリーンブースの蛍光燈スイッチをONにする。特に埃を嫌う場合は、クリーンブースのHEPAフィルタ通風スイッチも入れる。
- ロータリーポンプ（クリーンブース外、裏側）のスイッチを入れる。
- 半導体パラメータアナライザの電源スイッチを入れ、30分ウオームアップする。
セミオートプローバとの接続
MOSFETの各電極を次の表のように接続する。もし、このようにプロービングできない場合は、適当にポート番号を変更するように配線し直す。
| SMUポート | プローバ・ポート番号 | MOSFET電極 |
| SMU1(Forse) | 11 | Drain |
| SMU1(Sense) | 12 | Drain |
| SMU2(Forse) | 3 | Gate |
| SMU2(Sense) | 4 | Gate |
| SMU1(Forse) | 7 or 8 | Source |
| SMU1(Forse) | 9 or 10 | Substrate |
測定条件の設定
次の表の順番で、PAGE CONTROL欄のスイッチを上から順に押して、現れた画面のパラメータを設定する。CHANNEL DIFINITIONページの CHANNELS表の設定例を表1、表2に、MEASUREページの設定例を表3、表4に示す。その他の表についても適切に設定を行う。
| 1 | CHAN |
|---|
| 2 | MEAS |
|---|
| 3 | DISPLAY |
|---|
| 4 | GRAPH/LIST |
|---|
表1 CHANNELS表の設定例（MOSFET出力特性測定用）
| UNIT | VNAME | INAME | MODE | FCTN | SERIES
RESISTANCE |
| SMU1:HR | Vd | Id | V | VAR1 | 0 ohm |
| SMU2:HR | Vg | Ig | V | VAR2 | 0 ohm |
| SMU3:HR | Vs | Is | COMMON | CONST | |
| SMU4:HR | Vsub | Isub | COMMON | CONST | |
表2 CHANNELS表の設定例（MOSFET伝達特性／ゲートリーク測定用）
| UNIT | VNAME | INAME | MODE | FCTN | SERIES
RESISTANCE |
| SMU1:HR | Vd | Id | V | CONST | 0 ohm |
| SMU2:HR | Vg | Ig | V | VAR1 | 0 ohm |
| SMU3:HR | Vs | Is | COMMON | CONST | |
| SMU4:HR | Vsub | Isub | COMMON | CONST | |
表3 MEASUREページの設定例（n-ch MOSFET出力特性測定用）
| VARIABLE | VAR1 | VAR2 |
| UNIT | SMU1:HR | SMU2:HR |
| NAME | Vd | Vg |
| SWEEP MODE | SINGLE | SINGLE |
| LIN/LOG | LINEAR | LINEAR |
| START | 0V | 0V |
| STOP | 5V | 5V（自動設定） |
| STEP | 50mV | 0.5V |
| NO OF STEP | 201（自動設定） | 11 |
| COMPLIANCE | 20mA | 100uA |
| POWER COMP | OFF | OFF |
| HOLD | 0s |
| DELAY | 0s |
表4 MEASUREページの設定例（n-ch MOSFET伝達特性／ゲートリーク測定用）
| VARIABLE | VAR1 |
| UNIT | SMU2:HR |
| NAME | Vg |
| SWEEP MODE | SINGLE |
| LIN/LOG | LOG |
| START | -3V |
| STOP | 8V |
| STEP | 50mV |
| NO OF STEP | 101（自動設定） |
| COMPLIANCE | 100uA |
| TIMING |
| POWER COMP | OFF |
| HOLD | 0s |
| DELAY | 0s |
| CONSTANT |
| UNIT | SMU1:HR |
| NAME | Vd |
| MODE | V |
| SOURCE | 2.5V |
| COMPLIANCE | 20mA |
測定方法
- PAGE CONTROL欄のGRAPH/LISTボタンを押してグラフまたは測定値リスト表を表示する。
- MEASUREMENT欄のSINGLEボタンを押すと測定が始まる。STOPボタンを押すと測定がキャンセルされる。
- 測定が終わりスタンバイとなると、MEASUREMENT欄のLEDが消灯する。ソフトキーを使って適当にグラフのスケーリングを行う。
- 測定データにノイズが乗っている時は、MEASUREMENT欄（前面パネル上）のInteg Time ボタンでMEDWUMまたはLONGを選ぶ。
ディスク操作
[ディスクのフォーマット]
- PAGE CONTROL欄のSYSTEMボタンを押す。
- ソフトキーのDISK OPERATIONを押す。
- 矢印キーでDOS(1.44MB)を選ぶ。（自分がデータを扱いたい環境に合わせること）
- ソフトキーの中からEXECUTEキー、続いてYESキーを押す。
[測定データの保存]
- PAGE CONTROL欄のDISPLAYボタンを押し、ソフトキーでLISTを選ぶ。
- PAGE CONTROL欄のGRAPH/LISTボタンで測定値リストを表示する。
- ソフトキーのSPREAD SHEETキーを押す。
- ファイルネームを入力、UNIT=OFF、区切り文字を指定して、ソフトキーのEXECUTEを押す。（処理に少し時間がかかる）
- ソフトキーのEXITを押して終了。
[測定条件設定の保存]
- PAGE CONTROL欄のSYSTEMボタンを押す。
- ソフトキーのSAVEを押す。
- NAME=ファイル名、TYPE=MESを入力する。COMMENTは任意である。
- ソフトキーのEXECUTEを押す。
- ソフトキーのEXITで終了。
[測定条件設定の読み出し]
- PAGE CONTROL欄のSYSTEMボタンを押す。
- ソフトキーのGETを押す。
- ソフトキーのFILE CATALOGUEキーを押して、呼び出す設定ファイルを選択する。
- ソフトキーのEXECUTEを押す。
- ソフトキーのEXITで終了。
終了方法
- 本体のメインスイッチを切るのみで良い。
[注1] プローバの終了処理とクリーンブースの電源を切るのを忘れないように。
[注2] クリーンブース内に備え付けの使用簿ノートに必要事項を必ず記録すること。
Copyright (C) 1999 Akio Kitagawa
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